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洁净室净化空调负荷特点

发布者: 发布时间:2017-10-10 阅读:


洁净室


A. 洁净室的空调负荷

1、室内负荷

① 室内作业人员的散热、散湿负荷。

② 室内照明灯具的散热负荷。

③ 洁净室围护结构(墙、顶、地、门、窗)的传热、传湿负荷。

④ 生产设备和生产过程的散热、散湿负荷。


2、洁净室新风处理的热、湿负荷。夏季是降温去湿;冬季是加热、加湿。


3、空气循环时风机(或FFU)的温升和水泵的温升负荷。


B. 洁净室的空调负荷特点

1、高级别洁净室(100级,10级,1级)是垂直单向流洁净室,其送风机的风量非常大,高达400~500次/h换气,而且风机的压头也很高,一般多在1000~1500Pa,因此风机温升的负荷大。按理论计算:在集中送风方式的系统中,风机的温升为1.5℃,仅此一项的负荷就是500~700W/m2;如果采用FFU送风方式,风机温升的负荷也要250~350 W/m2。因此,风机温升的负荷大是其一个负荷特点。


2、服务于微电子和光电子的高级别洁净室因工艺排风量大,所以新风量也很大,新风量一般在10~20次/h换气;因此,处理如此多新风的负荷大约为400~800 W/m2;个别工艺的排风量更大,固新风负荷也还会更大。因此新风负荷大是其第二个负荷特点。


3、生产设备和生产过程的散热、散湿负荷大,是高级别洁净室的第三个负荷特点。生产负荷的大小是与工艺生产本身的性质、生产设备的密闭、保温、通风以及水冷却的情况有关。


4、围护结构的传热、照明灯具的散热以及作业人员的发热这三项负荷相对比较小,三项负荷之和还不足总空调负荷的10%(其中:照明负荷大约25~30 W/m2;围护结构负荷大约20~30 W/m2;作业人员负荷大约10~15 W/m2),这是高级别洁净室第四个负荷特点。


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